我公司自主生产的真空部件总漏率＜1.0x10 -11 Pa·m 3 /S极限真空可达≤1.0x10 -6 Pa；
法兰的同心度和垂直度保证达到0.02MM的精度，材质选用进口的无磁316L
北京大学超导射频实验室
